超精密減壓閥RR系列

利用其他減壓閥的外部先導壓力，進行出口壓力可變設定的空氣壓力操作的減壓閥。
壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式，可以實現無塵室對應的精密的壓力調整的減壓閥。

無塵規格

因為部品是不銹鋼及氟橡膠，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產生的雜質非常少。

歧管安裝對應

歧管連接配管可能。

排氣口裝備

因為排氣孔，溢流孔，可以連接排氣用配管；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。

高精度

可以實現感度0.1%F.S.,反復再現性±0.1%F.S.的高精度控制。